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20世纪70年代:1***0年,Wabot-1成为第一个拟人机器人。1***3年,Famulus成为第一个具有六个机电驱动轴的工业机器人。1***6年,Viking 1 和 Viking 2成为第一个登陆火星的机器人。 20世纪80年代:机器人玩具如OmniBot2000和任天堂的R.O.B.进入主流消费市场。
中国的机器人专家从应用环境出发,将机器人分为两大类,即工业机器人和特种机器人。所谓工业机器人就是面向工业领域的多关节机械手或多自由度机器人。
真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人,主要应用于半导体工业中实现晶圆在真空腔室内的传输。关键技术包括真空机器人新构型设计技术、大间隙真空直驱电机技术、真空环境下的多轴精密轴系的设计、动态轨迹修正技术以及符合SEMI标准的真空机器人语言。
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